超高純度 朗盛升級(jí)電子行業(yè)除氧用離子交換樹脂產(chǎn)品
來源：朗盛 2021年09月29日
上海，2021年9月28日——特殊化學(xué)品公司朗盛升級(jí)了其用于電子行業(yè)除氧應(yīng)用的Lewatit K 7333離子交換樹脂?，F(xiàn)在，改進(jìn)的聚合物基質(zhì)與改性的配方相結(jié)合，可以生產(chǎn)出純度最高的摻鈀強(qiáng)堿性陰離子交換劑，該產(chǎn)品可用于生產(chǎn)半導(dǎo)體制造和晶圓拋光工藝所需的超純水（UPW）。在這一領(lǐng)域，只能使用經(jīng)過特殊凈化的離子交換劑來生產(chǎn)純度極高的水。
作為離子交換樹脂的領(lǐng)先制造商之一，朗盛致力于通過這種新型產(chǎn)品在電子行業(yè)獲得更多客戶，并鞏固其市場(chǎng)地位。
面向開拓性應(yīng)用升級(jí)成功產(chǎn)品
近年來，離子交換劑已成功用于催化去除工藝水中的氧氣。“含氧水流經(jīng)載有Lewatit K 7333的過濾器。在逆流中，氫氣通過過濾器。摻鈀離子交換劑在這里起到催化劑的作用。在‘冷燃燒’過程中，氫氣和氧氣反應(yīng)生成水。”朗盛液體凈化技術(shù)（LPT）業(yè)務(wù)部技術(shù)營銷經(jīng)理Hans-Jürgen Wedemeyer介紹道。
Lewatit K 7333的另一個(gè)應(yīng)用是在沒有氫氣的情況下催化去除H2O2（過氧化氫）。這項(xiàng)技術(shù)越來越多地用于生產(chǎn)超純水。以這種方式生產(chǎn)的質(zhì)量更高的超純水目前的需求量比較大，因?yàn)閷?duì)于半導(dǎo)體行業(yè)中越來越小的模塊間隔，殘留離子含量被限定在ppt/ppq范圍內(nèi)。理想情況下，TOC（總有機(jī)碳）含量應(yīng)處于檢測(cè)限。“隨著模塊的增強(qiáng)和完善，對(duì)水的純度要求越來越嚴(yán)格，這意味著大幅減少納米范圍內(nèi)的顆粒數(shù)量越來越重要。”Wedemeyer說道。
為了達(dá)到這些非常低的值，需要使用特殊的紫外燈。這種燈可以氧化水中的任何殘留有機(jī)物，產(chǎn)生CO2。然后，離子交換劑吸收CO2，將其轉(zhuǎn)化為碳酸氫鹽。紫外燈處理過程中的一個(gè)副作用是會(huì)形成過氧化氫（輻解），損壞下游的離子交換劑。這將增加TOC，并在下游離子交換劑中形成顆粒。摻鈀Lewatit K 7333可將輻解形成的過氧化氫降至低ppt范圍，離子交換劑本身只會(huì)造成非常小的TOC、顆?；驓埩綦x子污染。
“這項(xiàng)技術(shù)已經(jīng)用于許多新工廠，并且正在現(xiàn)有工廠中進(jìn)行改進(jìn)。因此，我們預(yù)計(jì)對(duì)Lewatit K 7333離子交換劑的需求量會(huì)增加，以便我們滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)水純度日益嚴(yán)格的要求。”Wedemeyer說道。
電子行業(yè)濕化學(xué)法必不可少的物質(zhì)——離子交換劑
在微電子元件和納米電子元件生產(chǎn)中，對(duì)于光刻涉及的晶圓加工或復(fù)雜的濕化學(xué)法而言，超純水是不可或缺的成分。上述工藝用于制造半導(dǎo)體組件，例如計(jì)算機(jī)處理器、存儲(chǔ)芯片、發(fā)光二極管（LED）、液晶（LC）和LED顯示器以及光伏模塊。超純水還用于微系統(tǒng)技術(shù)，該技術(shù)用于制造和加工微泵、微電機(jī)和微閥所需的微型機(jī)械部件。超純水是防止或去除精密結(jié)構(gòu)中小至納米級(jí)的沉積物或雜質(zhì)的重要先決條件，這些物質(zhì)如果不去除，會(huì)導(dǎo)致生產(chǎn)故障和極高的廢品率。“隨著電子元件的尺寸越來越小，對(duì)超純水的質(zhì)量要求也在不斷提升。”Wedemeyer表示。
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